提出了一種基于陶瓷基體鉑薄膜電阻熱式氣體質(zhì)量流量計的設(shè)計方法，分析了熱式氣體流量計的原理，制作了陶瓷鉑電阻流量敏感元件，為降低加熱功耗，提出了通孔方案。設(shè)計了恒溫差控制電路和 MSP430 單片機處理電路，并制作出了實際樣機。采用音速噴嘴標(biāo)定裝置對樣機進行了標(biāo)定和測試，該流量計的測量范圍 500 ～ 1 500 kg /h，精度 ± 0． 5 % ，響應(yīng)時間 2 s，能夠滿足大工業(yè)氣體管道流量的測量要求，具有廣闊的應(yīng)用前景。

0.引言

熱式氣體質(zhì)量流量計是一種常用的氣體質(zhì)量流量檢測儀器，在航空航天、能源、醫(yī)療以及工業(yè)測量等領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用。傳統(tǒng)的氣體質(zhì)量流量計多通過測量流體溫度、壓力等信號，再換算成即時流量的方法進行測量，由于氣體流動狀態(tài)不穩(wěn)定，測量的準(zhǔn)確性會受到影響。特別是工業(yè)環(huán)境中，環(huán)境的壓力、溫度變化劇烈，氣體中含有的雜質(zhì)較多，流量計的壽命和穩(wěn)定性成為關(guān)鍵。熱線式氣體質(zhì)量流量計。直接測量流體流量 測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，也不需要溫度壓力補償，但其熱線較為脆弱，在雜質(zhì)較多的氣流環(huán)境中容易斷裂。基于硅微加工技術(shù)的熱膜式氣體質(zhì)量流量傳感器和氣體流速傳感器很好地解決了抗沾污能力和抗氣體沖擊能力，因而在汽車與民用上得到了廣泛應(yīng)用。但隨著工作條件的嚴(yán)酷性增加，上述傳感器的使用受到了限制，而陶瓷基板的熱膜式熱式氣體質(zhì)量流量計可以彌補這些傳感器的不足，更適用于復(fù)雜惡劣的工業(yè)環(huán)境，具有量程大、環(huán)境影響小、響應(yīng)快和壽命長等特點，解決了工業(yè)氣體質(zhì)量流量測量的難題。

1.熱式氣體質(zhì)量流量計的原理

熱式氣體質(zhì)量流量計的理論是傳熱學(xué)原理，低溫的氣流流過高溫的加熱體時，兩者會進行熱交換，氣體質(zhì)量流量的大小會影響熱交換的速率，通過測量熱交換的速率就能反過來得到氣體的質(zhì)量流量。

熱交換的途徑有四種: 強迫對流傳熱、自然對流傳熱、導(dǎo)熱傳熱和輻射傳熱。

強迫對流傳熱是指高雷諾數(shù)流體與固體之間的對流熱傳遞，該過程包含溫度邊界層內(nèi)部的熱傳導(dǎo)和外部的熱對流，加熱體表面通過強迫對流傳熱帶走的熱量由牛頓冷卻

定律可得

Qf = hf S( Th － Ta )  ．

其中，Qf 為強迫對流傳熱帶走的熱量，hf  為強迫對流傳熱系數(shù)，S 為加熱體的換熱面積，Th  為加熱體的溫度，Ta為氣流的溫度。

自然對流傳熱是指靜止或低雷諾數(shù)流體與固體之間的對流熱傳遞，與強迫對流傳熱類似，加熱體表面通過自然對

流傳熱帶走的熱量表示為

Qn = hn S( Th － Ta )  ．

其中，Qn 為自然對流傳熱帶走的熱量，hn  為自然對流傳熱系數(shù)。

導(dǎo)熱傳熱主要是指固體之間的傳熱和固體與流體之間的邊界層傳熱，通過導(dǎo)熱傳熱帶走的熱量可以表示為

Qc = αS( Th － Tc ) / δ ．

其中，Qc 為導(dǎo)熱傳熱帶走的熱量，α 為加熱電阻器襯底的導(dǎo)熱系數(shù)，Tc  為支撐件的溫度，δ 為襯底導(dǎo)熱面的厚度。

輻射傳熱是指加熱體通過熱輻射散發(fā)的熱量，用公式

可以表示為

Qr = εσS( Th － Ta )  ．

其中，Qr 為加熱體通過熱輻射散發(fā)的熱量，S 為輻射換熱表面積。

對于質(zhì)量流量為 500 ～ 1 500 kg /h 的氣流，流體狀態(tài)為湍流，氣體與固體之間的換熱途徑主要為強迫對流傳熱。

熱平衡時，加熱電阻器的加熱功率為 Q = I2 Ｒ，電阻器的加熱功率與散熱功率相等I2 Ｒ = hf S( Th － Ta )  ．

其中，hf 為強迫對流換熱系數(shù)可表示為質(zhì)量流量的函數(shù)

2.熱式氣體質(zhì)量流量計的設(shè)計

2． 1  陶瓷鉑電阻流量敏感元件設(shè)計

熱式氣體質(zhì)量流量計的核心元件為其電阻流量敏感元件，它是采用具有溫度敏感特性的金屬薄膜材料通過蒸發(fā)或濺射等工藝生長在襯底材料上。目前用于制作氣體流量計的金屬材料主要用鉑和鎳兩種。其中，鉑薄膜熱敏電阻器具有良好的耐高溫和穩(wěn)定性，被廣泛采用。流量敏感元件設(shè)計中主要考慮如下幾個因數(shù): 1) 器件的工作溫度: 為便于電路控制，提高測試精度，這里元件的工作模式基于恒定溫差模式，即在外界條件變化時，保持加熱電阻器的加熱溫度恒定高于環(huán)境溫度一個固定值; 2) 器件的加熱電阻值: 當(dāng)確定了器件的恒定溫差之后，根據(jù)熱學(xué)原理可以確定器件的加熱功率，在給定的工作電壓條件下，便可確定器件電阻值; 3) 降低功耗: 熱式質(zhì)量流量計的加熱功率是決定整個流量計功耗的關(guān)鍵指標(biāo)，為此，本文工作對如何降低功耗開展了熱學(xué)分析與優(yōu)化，提出在加熱電阻器周圍制作通孔的辦法來降低功耗( 如圖 1 所示) ，通過在電阻的兩端各加工一個直徑 1 的通孔，測試結(jié)果表明，加熱功率將從1． 41 W降為 1． 3 W，功耗減低 8 % ，進一步在電阻器周圍增加通孔可以將功耗大幅降低，但這將減小器件的耐氣流的機械強度，本文中采用了兩個通孔的方案。

2． 2 加熱電路設(shè)計

加熱電阻器選用阻值隨溫度線性變化的鉑電阻器，需要將鉑電阻器的溫度加熱到比環(huán)境溫度高，常用的供電方式有恒定溫差法和恒定功率法。恒定溫差法是指加熱電阻器溫度與環(huán)境溫度的溫差為定值，恒定功率法是指加熱電阻器的加熱功率為定值，在加熱電阻器的上下游分別放置2 只測溫電阻器，通過檢測 2 只測溫電阻器的溫差實現(xiàn)流量的測量。本文采用恒定溫差法進行測量，因為在流量較大時，恒定溫差法有更高的靈敏度。

圖 2 是恒溫差供電電路，HT 是定制的鉑加熱電阻器，0 ℃ 阻值約為 46 Ω，溫度系數(shù)為 3 851 × 10 － 6 ℃ － 1 。Pt1000熱敏電阻器用于溫度補償，Ｒ2，Ｒ3，HT，Ｒ9，Ｒ10 和 Pt1000組成惠斯通電橋，Ｒ3 和 Ｒ10 用于修正 2 只鉑電阻器的溫度系數(shù)偏差，Ｒ6，Ｒ7，Ｒ8 和 OP1 使得補償支路的最大電流小于 0． 5 mA，避免 Pt1000 自加熱導(dǎo)致電橋失衡，Ｒ1 為電橋提供偏置電流。設(shè)置 Ｒ9 和 Ｒ2 的值可以設(shè)置加熱電阻器 HT平衡時的溫度，即設(shè)置與環(huán)境溫度的恒定溫差值，取值為30 ～ 50 ℃ 。

電路上電后，HT 初始溫度為環(huán)境溫度，運放 OP2 正相端電壓高于反相端，三極管開啟，電流流過 HT，HT 開始升溫，阻值變大，同時，OP2 反相端電壓升高。當(dāng) HT 溫度到設(shè)定值，OP2 正反相電壓相等，電橋平衡，當(dāng) HT 溫度過沖時，三極管關(guān)閉，反過程使得 HT 溫度下降，從而使加熱電阻器溫度恒定。

Pt1000 電阻器反映的是環(huán)境溫度的變化，環(huán)境溫度升高時，OP2 正相端電壓升高，電橋失衡，HT 的溫度也會升高，通過合理設(shè)置 Ｒ3 和 Ｒ10 的值，補償 2 只鉑電阻器的溫度系數(shù)差，可以使得 HT 與 Pt1000 的溫差恒定。

2． 3 擬合輸出電路設(shè)計

數(shù)據(jù)采集和擬合部分采用 TI 公司的 MSP430F169 單片機實現(xiàn)，該單片機具有集成度高、外圍設(shè)備豐富以及低功耗等優(yōu)點，在許多領(lǐng)域內(nèi)得到了廣泛運用，電路框圖如圖 3所示。

信號調(diào)理部分包括濾波電路和放大電路等，作用是隔離模擬和數(shù)字部分、濾除紋波和調(diào)整信號幅值供單片機的ADC 輸入。

MSP430F169 單片機內(nèi)置 12 位 ADC，對前端信號進行采集和擬合后，輸出到 DAC 芯片 TLV5638，再經(jīng)過放大輸出電路輸出得到流量對應(yīng)的電壓值。

3.實驗測量

本氣體流量計采用標(biāo)準(zhǔn)的音速噴嘴標(biāo)定裝置進行標(biāo)定和測量，裝置在一根長約 1 m，直徑約 40 mm 的金屬管中提供穩(wěn)定的流量，流量計插入金屬管，使鉑電阻器正好位于管道中心。首先對氣體流量計進行標(biāo)定擬合，設(shè)定音速噴嘴標(biāo)定裝置的質(zhì)量流量從 500 ～ 1 500 kg/h 變化，步長 100 kg/h，標(biāo)定擬合后的曲線如圖 4 所示。

將擬合的公式輸入 MSP430 單片機的程序，設(shè)定音速噴嘴裝置的質(zhì)量流量范圍為 500 ～ 1500 kg/h，步長 100 kg/h，得到測量流量與標(biāo)稱流量的結(jié)果如表 1，最大相對誤差為 ±0． 5 % 。

利用音速噴嘴裝置輸出一個階躍流量，測量流量計的動態(tài)響應(yīng)時間，如圖 5 所示。可以看到流量計的響應(yīng)時間約為 2 s。

4.結(jié)束語

本文基于恒溫差式質(zhì)量流量測量方法，設(shè)計了一種工業(yè)用大流量質(zhì)量流量計，并用音速噴嘴裝置測試了其性能，在質(zhì)量流量 500 ～ 1 500 kg /h 范圍內(nèi)實現(xiàn)了測量誤差為± 0． 5 % ，響應(yīng)時間為 2 s 的性能，滿足大多數(shù)工業(yè)氣體管道的流量測量。該流量計具有易于安裝、耐腐蝕、響應(yīng)快和環(huán)境溫度自適應(yīng)等特點，具有比較廣闊的應(yīng)用前景。